超純水是指電阻率達到15 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、病毒、含氯等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)的制備過程

超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水，其電阻率大于15 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 [2]  。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質(zhì)量難以保證。

在原子光譜、高效液相色譜、超純物質(zhì)分析、痕量物質(zhì)等的某些實驗中，需要用超純水，超純水的制備如下 [3]  ：

（1）加入少量高錳酸鉀的水源，用玻璃蒸餾裝置進行二次蒸餾，再以全石英蒸餾器進行蒸餾，收集于石英容器中，可得超純水。

（2）使用強酸型陽離子和強堿型陰離子交換樹脂柱的混合床或串聯(lián)柱?？沙浞殖ニ械年?、陰離子，其電阻率達10 Q·cm的水，俗稱去離子水，再用全石英蒸餾器進行蒸餾，收集可得超純水。

超純水可以在以下領(lǐng)域使用 [4]  ：

（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

（2）化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。

（3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。

（4）高壓變電器的清洗等